荏原（中国）有限公司

干式真空泵

ESA

技术参数

ESA15-D
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
1,400/1,700
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA25-D
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
2,500/3,000
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA25XW
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
5,000/6,000
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA70W(-D)、 ESA70WN(-D)
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
7,000/8,400
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA80W-HDF 、ESA80WN-HDF
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
8,400
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA100W、 ESA100WN
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
10,000
应用场景
MO-CVD、大型load-lock、其他清洁真空等
ESA200W
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
20,000
应用场景
大型load-lock、其他清洁真空等
ESA300W
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
28,000/30,000
应用场景
大型load-lock、其他清洁真空等
ESA500W
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
47,000/50,000
应用场景
大型load-lock、其他清洁真空等
ESA700W
最大抽气速率(L/min) (50Hz/60Hz)
80,000
应用场景
大型load-lock、其他清洁真空等

产品特点

适用于大型真空腔室的高速抽气场景
搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）
可满足有机溶剂要求的可选配件

应用领域

在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。

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