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产品特点
以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖
低能耗、占地小
可耐受腐蚀性气体(采用标准耐腐蚀材料)
应用领域
各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等
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